嵌入式金属互连的制造方法

摘要

本发明涉及一种嵌入式金属互连的制造方法。该方法包括以下步骤：提供一个衬底，在该衬底之上有介电材料(1)，在该介电材料之上淀积保护层(2)，在该保护层之上淀积牺牲层(7)，该牺牲层的机械强度比该保护层的机械强度低，制作开口(3)使其穿过牺牲层、保护层进入到介电材料，在开口内及牺牲层之上淀积阻挡层(4)，在该阻挡层之上淀积金属材料(5)，该金属材料填充开口，用研磨的方法除去存在于开口以外的金属材料部分，在一个研磨步骤中除去该阻挡层和该牺牲层。

主权项

1.一种嵌入式金属结构的制造方法，包括以下步骤：-提供一个顶部有介电材料的衬底，-在该介电材料上面淀积一保护层，-在该保护层上面淀积一牺牲层，该牺牲层的机械强度比该保护层的机械强度低，-制作一开口使其穿过该牺牲层、保护层进入到介电材料，-在该开口内及该牺牲层上淀积一阻挡层，-在该阻挡层上淀积金属材料，该金属材料填充该开口，-用研磨的方法除去存在于开口以外的金属材料部分，并-在一个研磨步骤中除去该阻挡层和牺牲层。