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发明名称 HYBRID CHUCK
摘要 <p>Device and method for regulating the temperature of a substrate, in particular of a wafer, by means of a device comprising two temperature-regulating circuits that are operated with different temperature-regulating fluids.</p>
申请公布号 EP1943665(A1) 申请公布日期 2008.07.16
申请号 EP20060818264 申请日期 2006.10.17
申请人 ATT SYSTEMS GMBH 发明人 EIBL, MARKUS
分类号 H01L21/687 主分类号 H01L21/687
代理机构 代理人
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