发明名称 Method for producing a DRAM or FeRAM memory with two capacitors per access transistor
摘要
申请公布号 EP1352430(B1) 申请公布日期 2008.09.10
申请号 EP20010984718 申请日期 2001.12.14
申请人 QIMONDA AG 发明人 KASTNER, MARCUS;MIKOLAJICK, THOMAS
分类号 H01L21/8242;H01L21/8246;H01L21/8247;H01L27/06;H01L27/105;H01L27/108;H01L27/115 主分类号 H01L21/8242
代理机构 代理人
主权项
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