DEVICE FOR SCANNING A SAMPLE SURFACE COVERED WITH A LIQUID

摘要

Gezeigt wird eine Einrichtung (32) zum Abtasten der Oberfläche einer Probe (20), die mit einer Flüssigkeit (22) bedeckt ist. Die Einrichtung umfaßt eine Sonde (12), die an einem Ende eine Spitze (14) aufweist, Mittel (24) zum Bewegen der Sonde (12) und der Probe (20) relativ zueinander, eine Lichtquelle (26), eine Fokussiervorrichtung (48), die Licht von der Lichtquelle (26) auf eine in der Flüssigkeit (22) befindliche Stelle der Spitze (14) fokussiert, und einen Detektor (30) zum Detektieren von Licht, welches von der Spitze (14) gestreut wird. Auf dem Weg des Lichtes zwischen der Lichtquelle (26) und der Spitze (14) befindet sich eine Grenzfläche (56), an der das Licht in die Flüssigkeit (22) eintritt, wobei die Grenzfläche ortsfest bezüglich der Sonde (12) ist.