Verfahren zum Herstellen einer Gassensorvorrichtung zum Erfassen zumindest eines gasförmigen Analyten in einem Messmedium sowie Verfahren und Gassensorvorrichtung zum Erfassen zumindest eines gasförmigen Analyten in einem Messmedium

摘要

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen einer Gassensorvorrichtung (100) zum Erfassen zumindest eines gasförmigen Analyten in einem Messmedium (M). Das Verfahren umfasst einen Schritt des Bearbeitens eines ersten Halbleitersubstrats (101) und eines zweiten Halbleitersubstrats (102) unter Verwendung zumindest eines Trennprozesses und zumindest eines Beschichtungsprozesses, um Ausnehmungsabschnitte, Festelektrolytschichten und Elektroden in dem ersten Halbleitersubstrat (101) und dem zweiten Halbleitersubstrat (102) zu erzeugen. Auch weist das Verfahren einen Schritt des Zusammenfügens des ersten Halbleitersubstrats (101) und des zweiten Halbleitersubstrats (102) auf, um zwischen dem ersten Halbleitersubstrat (101) und dem zweiten Halbleitersubstrat (102) eine Einstellkammer (111) zum Einstellen einer Gaszusammensetzung des Messmediums (M), eine Erfassungskammer (112) zum Erfassen des gasförmigen Analyten und einen Diffusionsabschnitt (113) zum Steuern einer Diffusion des Messmediums (M) zwischen der Einstellkammer (111) und der Erfassungskammer (112) zu erzeugen.