一种用于太阳能电池片生产的原子层沉积真空镀膜装置

摘要

本发明公开了一种用于太阳能电池片生产的原子层沉积真空镀膜装置，所述装置包含有外腔体，内腔体，喷淋板，加热系统，冷却系统，工艺气体系统，尾气处理装置和真空泵；内腔体设于外腔体内的支架上，喷淋板设于内腔体顶部且同时为内腔体的顶盖；加热系统设于内腔体外侧，冷却系统设于外腔体外侧，工艺气体系统通过工艺气体管道及脉冲阀与内腔体连接，内腔体通过真空管道依次与尾气处理装置、真空泵连接；所述喷淋板通过内腔体的内法兰与内腔体固定连接，所述喷淋板通过连接轴及弹簧与外腔体盖固定。太阳能电池片批量垂直放置在承载舟上，多个承载舟同时置于内腔体；所述太阳能电池片平行于工艺气体流动方向。

主权项

一种用于太阳能电池片生产的原子层沉积真空镀膜装置，所述装置包含有外腔体，内腔体，喷淋板，加热系统，冷却系统，工艺气体系统，尾气处理装置和真空泵；内腔体设于外腔体内的支架上，喷淋板设于内腔体顶部且同时为内腔体的顶盖；加热系统设于内腔体外侧，冷却系统设于外腔体外侧，工艺气体系统通过工艺气体管道及脉冲阀与内腔体顶盖连接，内腔体通过工艺气体管道依次与尾气处理装置、真空泵连接；其特征在于，所述喷淋板通过内腔体的内法兰与内腔体固定连接，所述喷淋板通过连接轴及弹簧与外腔体盖固定。