| 发明名称 | 微透镜及其制造方法 | ||
| 摘要 | 一种使用籽晶层制造的用于图像传感器的微透镜以及不包括回流工艺的用于制造该微透镜的方法。制造微透镜的方法包括：在晶片上形成籽晶层图样，通过应用等离子来磨圆籽晶层图样的转角部分，以及然后在籽晶层图样上沉积氧化膜。 | ||
| 申请公布号 | CN101378032A | 申请公布日期 | 2009.03.04 |
| 申请号 | CN200810213986.5 | 申请日期 | 2008.09.01 |
| 申请人 | 东部高科股份有限公司 | 发明人 | 沈千万 |
| 分类号 | H01L21/71(2006.01);H01L21/82(2006.01);H01L27/146(2006.01) | 主分类号 | H01L21/71(2006.01) |
| 代理机构 | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 李丙林;张英 |
| 主权项 | 1.一种方法，包括：在晶片上形成籽晶层图样；通过应用等离子来磨圆所述籽晶层图样的转角部分；以及然后在所述籽晶层图样上沉积氧化膜。 | ||
| 地址 | 韩国首尔 | ||