发明名称 | 压印装置以及物品的制造方法 | ||
摘要 | 本发明提供一种压印装置以及物品的制造方法。所述压印装置通过使用模具,对基板的投射区域上的压印材料形成图案,并且包括:供给单元,其具有各自被配置为排出所述压印材料的多个排出口,并且被配置为将所述压印材料供给至所述基板;以及控制单元,其被配置为控制所述供给单元,以将所述压印材料从所述多个排出口供给到所述投射区域上,其中,所述控制单元基于表示从所述多个排出口中的各个排出所述压印材料的历史的排出历史信息,而在所述多个排出口之中,确定要用于将所述压印材料供给至所述投射区域的排出口。 | ||
申请公布号 | CN105842982A | 申请公布日期 | 2016.08.10 |
申请号 | CN201610064697.8 | 申请日期 | 2016.01.29 |
申请人 | 佳能株式会社 | 发明人 | 三田裕;新井刚 |
分类号 | G03F7/00(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/00(2006.01)I |
代理机构 | 北京怡丰知识产权代理有限公司 11293 | 代理人 | 迟军 |
主权项 | 一种压印装置,其通过使用模具,对基板的投射区域上的压印材料形成图案,所述压印装置包括:供给单元,其具有各自被配置为排出所述压印材料的多个排出口,并且被配置为将所述压印材料供给至所述基板;以及控制单元,其被配置为控制所述供给单元,以将所述压印材料从所述多个排出口供给到所述投射区域上,其中,所述控制单元基于表示从所述多个排出口中的各个排出所述压印材料的历史的排出历史信息,在所述多个排出口之中,确定要用于将所述压印材料供给至所述投射区域的排出口。 | ||
地址 | 日本东京都大田区下丸子3-30-2 |