Niedertemperatur-Plasma-Behandlung

摘要

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Verkleben einer Substratoberfläche (2) eines Substrates mit einer Klebemasseoberfläche (4) einer Klebemasse (3), indem ein Niedertemperatur-Plasma in einem Niedertemperatur-Plasmagenerator erzeugt wird, die Substratoberfläche und/oder die Klebemasseoberfläche (4) mit dem Niedertemperatur-Plasma aktiviert wird und danach zur Ausbildung eines Verklebungsverbundes die Substratoberfläche (2) und die Klebemasseoberfläche (4) aufeinandergeschichtet werden.