SEMICONDUCTOR DEVICES AND METHODS OF MANUFACTURING THEREOF

摘要

반도체 장치는 기판, 기판 상에 형성된 터널 절연막 패턴, 터널 절연막 패턴 상에 적층된 전하 저장 패턴, 전하 저장 패턴 상에 적층되며 전하 저장 패턴보다 감소된 폭을 갖는 유전막 패턴, 유전막 패턴 상에 적층되며 유전막 패턴보다 확장된 폭을 갖는 컨트롤 게이트, 및 컨트롤 게이트 상에 적층된 금속 함유 게이트를 포함한다.