| 摘要 |
[과제] 고에너지선을 광원으로 한 포토리소그래피에 있어서, 고도로 산 확산을 억제하여, 감도, MEF, 초점 심도가 우수하고, 또한 노광기 오염의 원인이 될 수 있는 아웃가스가 적고, 나아가 상용성이 우수하여, 디펙트가 발현되기 어려운 화학 증폭 레지스트 조성물에 사용되는 광산발생제, 및 상기 광산발생제를 포함하는 화학 증폭 레지스트 조성물, 및 상기 레지스트 조성물을 이용한 패턴 형성 방법을 제공한다. [해결수단] 하기 식(1)으로 표시되는 술포늄염. |
