振动传感器

摘要

提供一种振动传感器，提高耐冲击性而不会降低灵敏度。振动传感器包括固定电极、和与该固定电极对置的面作为振动电极起作用，在与该振动电极相反侧的面上具有重量部(1)的振动板(3)，基于固定电极与上述振动板(3)之间的静电电容的变化而输出振动检测信号，具有以下的特征。振动板(3)由多个狭缝(11)分割形成为：位于部且备有重量部(1)的振动部(33)；位于周边部且固定振动板(3)的固定部(31)；具有窄幅的部(32c)，在圆周方向上等间隔地形成多个，连结振动部(33)与固定部(31)的弹性支承部(32)。多个狭缝(11)，以相邻的各狭缝的振动部侧(33)端部和固定部(31)侧端部在径向上重合的方式、沿圆周方向等间隔地设置。

主权项

1.一种振动传感器，包括固定电极、和与该固定电极对置的面作为振动电极起作用，在与该振动电极相反侧的面上具有重量部的振动板，基于上述固定电极与上述振动板之间的静电电容的变化而输出振动检测信号，其特征在于，上述振动板由多个狭缝分割形成为：位于中央部且备有上述重量部的振动部；位于周边部且固定上述振动板的固定部；具有窄幅的中央部，在圆周方向上等间隔地形成多个，连结上述振动部与上述固定部的弹性支承部；上述多个狭缝，以相邻的各狭缝的振动部侧端部和固定部侧端部在径向上重合的方式、沿圆周方向等间隔地设置。