| 发明名称 | 用于制造具有高质量表面的金属衬底的方法 | ||
| 摘要 | 本发明的一个实施例提供了一种用于制造高质量金属衬底的方法。在操作期间，该方法包括清洗已抛光的单晶衬底。然后在该单晶衬底的抛光表面上形成预定厚度的金属结构层。该方法还包括在不破坏该金属结构层的情况下从该金属结构层上去除该单晶衬底，以获得高质量金属衬底，其中该金属衬底的一个表面是高质量金属表面，其保留了该单晶衬底的抛光表面的光滑度和平坦度。 | ||
| 申请公布号 | CN101221898A | 申请公布日期 | 2008.07.16 |
| 申请号 | CN200710001586.3 | 申请日期 | 2007.01.08 |
| 申请人 | 晶能光电（江西）有限公司 | 发明人 | 熊传兵;方文卿;王立;王古平;江风益 |
| 分类号 | H01L21/02(2006.01);H01L23/00(2006.01) | 主分类号 | H01L21/02(2006.01) |
| 代理机构 | 北京市金杜律师事务所 | 代理人 | 张维 |
| 主权项 | 1.一种用于制造高质量金属衬底的方法，包括：清洗已抛光的单晶衬底；在所述单晶衬底的抛光表面上形成预定厚度的金属结构层；以及在不破坏所述金属结构层的情况下从所述金属结构层去除所述单晶衬底，以获得所述高质量金属衬底；其中所述金属衬底的一个表面是高质量金属表面，其保留了所述单晶衬底的所述抛光表面的光滑度和平坦度。 | ||
| 地址 | 330047江西省南昌市南京东路235号南昌大学北区(材料科学研究所) | ||