发明名称 | 探测器滤波窗口 | ||
摘要 | 本发明公开了一种探测器滤波窗口,包括:由多层膜结构构成的具有带通特性的滤波窗口,所述多层膜结构由上向下的顺序依此为:单层二氧化硅膜、第一层薄膜组,单层高折射率介质、第二层薄膜组以及硅基底;其中,所述第一层薄膜组与第二层薄膜组均为多层二氧化硅膜和二氧化钛膜交叠组成。该方案省去了需要增加的滤光片,在硅基的生长制备中,在其表面镀上几种不同折射率的薄膜,达到滤光片的效果;这样设计不仅大大节省了成本,还减小了系统的复杂性。 | ||
申请公布号 | CN105738996A | 申请公布日期 | 2016.07.06 |
申请号 | CN201610315953.6 | 申请日期 | 2016.05.11 |
申请人 | 中国科学技术大学 | 发明人 | 李上宾;刘倍源;徐正元 |
分类号 | G02B5/20(2006.01)I | 主分类号 | G02B5/20(2006.01)I |
代理机构 | 北京凯特来知识产权代理有限公司 11260 | 代理人 | 郑立明;郑哲 |
主权项 | 一种探测器滤波窗口,其特征在于,包括:由多层膜结构构成的具有带通特性的滤波窗口,所述多层膜结构由上向下的顺序依此为:单层二氧化硅膜、第一层薄膜组,单层高折射率介质、第二层薄膜组以及硅基底;其中,所述第一层薄膜组与第二层薄膜组均为多层二氧化硅膜和二氧化钛膜交叠组成。 | ||
地址 | 230026 安徽省合肥市包河区金寨路96号 |