| 摘要 |
워크피스 상의 피쳐에 금속을 증착하기 위한 방법은, 워크피스 상의 피쳐에 시드 층을 형성하는 단계 ― 상기 시드 층은, 코발트 및 니켈로 이루어진 그룹으로부터 선택된 금속을 포함함 ―; 상기 시드 층 상에 제 1 금속화 층을 전기 화학적으로 증착하는 단계 ― 상기 금속화 층을 전기 화학적으로 증착하는 단계는, 6 내지 13의 범위의 pH 및 도금 금속 이온을 갖는 도금 전해질을 이용하는 단계를 포함함 ―; 및 상기 제 1 금속화 층의 증착 이후, 상기 워크피스를 열 처리하는 단계를 포함한다. |
