一种微型高精度双泵双轴循环射流陀螺

摘要

本申请公开了一种微型高精度双泵双轴循环射流陀螺，其包括敏感X轴和Z轴角速度的射流陀螺芯片、底座和外壳；所述射流陀螺芯片包括PCB电路板、PET基板、硅板和PET盖板；PCB电路板上设置有电源电路；PET基板上刻蚀有敏感室和储气槽；硅板上设置有敏感X轴和Z轴方向的两对敏感热敏丝、喷嘴和射流循环通道；PET盖板上设置有两个压电振子、储气槽和用于安装压电振子的台阶；PCB电路板、PET基板、硅板和PET盖板依次粘结构成所述射流陀螺芯片。本申请的射流陀螺以气体作为敏感质量，抗高过载、耐强冲击；制作成本低、实用性强；采用密闭空间内的循环气流作为角速度气流敏感体，陀螺的稳定性好，灵敏度较大，抗干扰能力强；结构简单，使用寿命长。

主权项

一种微型高精度双泵双轴循环射流陀螺，其特征在于，所述射流陀螺包括敏感X轴和Z轴角速度的射流陀螺芯片、底座和外壳；所述射流陀螺芯片和所述底座电气连接后，扣上所述外壳密封；所述射流陀螺芯片包括PCB电路板、PET基板、硅板和PET盖板；其中，所述PCB电路板上设置有电源电路；所述PET基板上刻蚀有敏感室和储气槽；所述硅板上设置有敏感X轴和Z轴方向的两对敏感热敏丝、喷嘴和射流循环通道；所述PET盖板上设置有两个压电振子、储气槽和用于安装压电振子的台阶；PCB电路板、PET基板、硅板和PET盖板依次粘结构成所述射流陀螺芯片。