具有振荡式路径凹槽网络的抛光垫

摘要

一种用来抛光晶片(32)或其它制品的抛光垫(20)，该抛光垫具有设计用来增加抛光介质(46)在抛光垫上的滞留时间的凹槽网络(60)。所述凹槽网络具有第一部分(72)和振荡部分(74)，所述第一部分基本沿径向向外延伸，振荡部分起始于转变点(76)，设计成用来减慢抛光介质沿径向向外的流动。

主权项

1.一种用来抛光制品的抛光垫，该抛光垫包括：a.具有旋转轴和多个凹槽的抛光部分，所述多个凹槽中的每个凹槽包括：i.相对于旋转轴向外延伸的第一部分；ii.在一转变位与所述第一部分连通的振荡部分。