真空阀

摘要

本发明提供一种紧凑且寿命长、低成本的真空阀。该真空阀1具有缸体部(12)、在阀本体(31)上具备的第1端口(32)、第2端口(33)、阀座部(34)和与可动轴(23)连接且带有与阀座部(34)接触或离开的密封部件(35)的阀体(24)，缸体部(12)具有第1活塞(45)和第2活塞(46)，通过向第1操作端口(25)供给压力流体，第1活塞(45)和第2活塞(46)受压移动，在第2活塞(46)与缸筒内接触面(21d)接触时，由于第1活塞(45)与端部接触面(45d)之间具有空间，第一活塞(45)进一步朝隔断第1端口(32)和第2端口(33)一侧移动，仅第1活塞(45)的推压力成为对接触阀座部(34)的密封部件(35)施加的压力。

主权项

1.一种真空阀，具有与阀本体连接且内部具有可动轴的缸体、形成于所述阀本体上的第1端口、形成于所述阀本体上并与所述第1端口连通的第2端口、在连通所述第1端口和所述第2端口的流路上形成的阀座、与所述可动轴连接并具有与所述阀座部接触和离开的密封部件的阀体，其特征在于，所述缸体具有与所述可动轴结合且受压面积小于所述缸体的圆筒内面截面积的第1活塞、和与所述可动轴接合且通过压力流体的压力间接地使所述第1活塞移动的第2活塞，通过向所述缸体上具备的第1操作端口供给所述压力流体，所述第1活塞和所述第2活塞受压，所述第1活塞在所述第2活塞内部所具备的凹部内壁上滑动，所述第2活塞在所述缸体的圆筒部内壁面上滑动，由此所述第1活塞和所述第2活塞移动，在所述第2活塞与将所述第1端口和所述第2端口隔断一侧的第2活塞用止动件接触时，由于所述第1活塞与将所述第1端口和所述第2端口隔断一侧的第1活塞用止动件之间具有空间，因而第1活塞进一步朝着将所述第1端口和所述第2端口隔断一侧移动，仅所述第1活塞的推压力成为对接触所述阀座的所述密封部件施加的推压载荷，将所述第1端口和所述第2端口隔断。