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经营范围
发明名称
プラズマ処理装置
摘要
申请公布号
JP5935461(B2)
申请公布日期
2016.06.15
申请号
JP20120084741
申请日期
2012.04.03
申请人
株式会社ＩＨＩ
发明人
米澤 朋子
分类号
H01L21/205;C23C16/509;H01L21/3065;H05H1/46
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
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