| 主权项 |
一种物品保管设备，具备：收纳收容基板的运送容器的多个收纳部，相对于上述多个收纳部运送上述运送容器的运送装置，针对上述多个收纳部的每一个设置、具有排放惰性气体的排放口和能够调节从上述排放口排放的上述惰性气体的流量的流量调节装置、并且向收纳在上述收纳部中的上述运送容器的内部供给上述惰性气体的惰性气体供给部，以及控制上述运送装置和上述流量调节装置的动作的控制装置，其特征在于，上述控制装置构成为，针对上述多个收纳部的每一个进行是否收纳有上述运送容器的管理，控制多个上述惰性气体供给部各自的上述流量调节装置的动作，以使与收纳有上述运送容器的上述收纳部相对应的上述惰性气体供给部的状态为从上述排放口排放上述惰性气体的保管用供给状态，同时使与未收纳有上述运送容器的上述收纳部相对应的上述惰性气体供给部的状态为不从上述排放口排放上述惰性气体的供给停止状态，另外，上述控制装置构成为，在由上述运送装置将上述运送容器向上述收纳部收纳之际，控制上述运送装置的动作以及上述流量调节装置的动作，以在将与收纳目的地的上述收纳部相对应的上述惰性气体供给部的状态从上述供给停止状态切换成从上述排放口排放上述惰性气体的收纳前供给状态之后，将上述运送容器向上述收纳部收纳，在上述运送容器被运送到上述收纳部之前的期间的某一时刻实现的上述运送装置的动作状态是预先作为惰性气体供给开始状态设定的，上述控制装置构成为，以上述运送装置的动作状态成为了上述惰性气体供给开始状态为条件，控制上述流量调节装置的动作，将与收纳目的地的上述收纳部相对应的上述惰性气体供给部的状态从上述供给停止状态切换成上述收纳前供给状态，之后，在经过设定时间之前维持上述收纳前供给状态。 |
