| 摘要 |
照明系（３０）は、コレクター（３１）によって集光されたＥＵＶ照明光（１４）を物体視野（５）まで案内する照明光学系（４）を有する。照明光学系は、視野ファセットミラー（１７）と瞳ファセットミラー（２０）を有する。瞳ファセット（３４）は、視野ファセット（３２）を互いの上に重ねる方式で物体視野（５）内に結像する伝達光学系の一部である。コレクター（３１）は、放射線源領域（３）をその下流に配置された中間焦点領域（２５）内に結像する。後者は、その下流に配置されたビーム経路における放射線源領域（３）の最初の像を構成する。下流焦点領域（２５）と一致しない狭窄領域（３７）が、コレクター（３１）と照明光学系（４）の第１の構成要素（１７）との間に位置している。そこでは、ＥＵＶ照明光（１４）の全体ビームの断面は、視野ファセットミラー（１７）上の断面と比較して少なくとも２倍だけ縮小される。その結果は、照明視野内へのＥＵＶ照明光の効率的な伝達が保証される照明系である。【選択図】図５ |
