Vakuum Pumpensystem mit Leichtgas Pumpen und einer Leckage Detektion Vorrichtung, aufweisend dieselbe

摘要

Ein Grob Vakuum Pumpensystem weist eine Primärvakuumpumpe und eine Sekundärvakuumpumpe auf. Die Primärvakuumpumpe ist eine ölfreie Verdrängerpumpe und hat eine Einlassöffnung, eine Auslassöffnung, eine Verdichtungsstufe zwischen den Einlass- und Auslassöffnungen, und einen Zwischengasdurchgang, der an einen Gasflusspfad verbunden ist, welcher durch die Verdichtungsstufe hindurch verläuft. Die Sekundärvakuumpumpe ist an den Zwischengasdurchgang der Primärvakuumpumpe verbunden. Das Verdichtungsverhältnis der Primär- und Sekundärvakuumpumpen, welche in Kombination betrieben sind, ist größer als dasjenige von dem Verdichtungsverhältnis von entweder der Primärvakuumpumpe oder der Sekundärvakuumpumpe, welche individuell betrieben sind. Eine Vakuumvorrichtung weist einen Spurengasdetektor auf, welcher an einen Einlass der Primärvakuumpumpe verbunden ist.