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Gegenstand der Erfindung ist ein Verfahren zur elektrochemischen Abscheidung von Tantal und/oder Kupfer auf einem Substrat in einer ionischen Flüssigkeit, enthaltend mindestens ein Tetraalkylammonium-, Tetraalkylphosphonium-, 1,1-Dialkylpyrrolidinium-, 1-Hydroxyalkyl-1-alkylpyrrolidinium-, 1-Hydroxyalkyl-3-alkylimidazolium- oder Bis(1-hydroxyalkyl)imidazolium-Kation, wobei die Alkylgruppen oder die Alkylenkette in der 1-Hydroxyalkylgruppe jeweils unabhängig voneinander 1 bis 10 C-Atome haben können.
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