发明名称 Menetelmä ja laite plasman tuottamiseksi
摘要
申请公布号 FI20075926(A) 申请公布日期 2009.06.18
申请号 FI20070005926 申请日期 2007.12.17
申请人 BENEQ OY 发明人 SOININEN, PEKKA;SNECK, SAMI;CAMERON, DAVID
分类号 C23C 主分类号 C23C
代理机构 代理人
主权项
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