一种用于制备高纯六氟化钨的吸附塔及其使用方法

摘要

本发明公开了一种用于制备高纯六氟化钨的吸附塔及其使用方法，该吸附塔是分级结构塔体，塔体由筛板分割成上下两级，底部筛板(15)和中间筛板(12)之间的空间为一级塔体(14)，底部筛板(15)下面有气体进口(1)，中间筛板(12)以上的空间为二级塔体(6)，一级塔体内填装金属填料，二级塔体内部有冷却盘管(5)并填装碱金属氟化物吸附剂，冷却盘管有冷媒进口(4)和冷媒出口(7)；塔体底端为封头(16)，塔体顶端为盲板(9)，盲板上有气体出口(8)，塔体外侧壁配有加热套。经过该吸附塔吸附的六氟化钨中HF和MoF₆含量低，且碱金属氟化物吸附剂中的六氟化钨可回收利用。

主权项

一种用于制备高纯六氟化钨的吸附塔，是分级结构塔体，塔体由筛板分割成上下两级，底部筛板(15)和中间筛板(12)之间的空间为一级塔体(14)，底部筛板(15)下面有气体进口(1)，中间筛板(12)以上的空间为二级塔体(6)，一级塔体内填装金属填料，二级塔体内部有冷却盘管(5)并填装碱金属氟化物吸附剂，冷却盘管有冷媒进口(4)和冷媒出口(7)；塔体底端为封头(16)，塔体顶端为盲板(9)，盲板上有气体出口(8)，塔体外侧壁配有加热套。