一种基于超材料的太赫兹医学成像仪及其制作方法

摘要

本发明提供一种基于超材料的太赫兹医学成像仪及其制作方法，所述成像仪至少包括基于超材料的多频谱大阵列太赫兹探测器，所述太赫兹探测器包括：具有空腔的硅片基底；形成于所述硅片基底的正面的第一介质层；悬浮在所述空腔上的第二介质层和超材料太赫兹谐振子阵列；形成于所述第一介质层表面且与所述超材料太赫兹谐振子阵列电连的引线结构。本发明主要通过基于超材料的多频谱大阵列太赫兹探测器来探测从成像样品上反射或透射的太赫兹波，根据探测器的响应信号实现物体重构。该成像仪具有成像速度快，对生物体完全无害，分辨率高，能实现实时结构与功能成像，与现有的主流医学成像手段形成了良好的互补。

主权项

一种基于超材料的太赫兹医学成像仪，其特征在于，所述基于超材料的太赫兹医学成像仪至少包括基于超材料的多频谱大阵列太赫兹探测器，所述太赫兹探测器包括：硅片基底，所述硅片基底具有空腔；第一介质层，形成于所述硅片基底的正面；悬浮薄膜结构，悬浮在所述空腔上，所述悬浮薄膜结构包括第二介质层和形成于所述第二介质层表面的超材料太赫兹谐振子阵列；引线结构，形成于所述第一介质层表面且与所述超材料太赫兹谐振子阵列电连。