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发明名称 SELECTIVE GROWTH OF POLYCRYSTALLINE SILICON-CONTAINING SEMICONDUCTOR MATERIAL ON A SILICON-CONTAINING SEMICONDUCTOR SURFACE
摘要
申请公布号 EP2130214(A1) 申请公布日期 2009.12.09
申请号 EP20080716881 申请日期 2008.02.15
申请人 IHP GMBH INNOVATIONS FOR HIGH PERFORMANCE MICROELECTRONICS/INSTITUT FUER INNOVATIVE MIKROELEKTRONIK 发明人 TILLACK, BERND;HEINEMANN, BERND;YAMAMOTO, YUJI
分类号 H01L21/02;C23C16/02;C23C16/04;C23C16/24;C23C16/28;H01L21/20 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
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