| 摘要 |
구리 또는 구리 합금으로 이루어지는 원통형 스퍼터링 타깃용 소재로서, 외주면의 결정 조직에 있어서, EBSD 법에 의해서 측정한 단위 면적 1 ㎟ 당의 단위 전체 입계 길이 (L) 와 단위 면적 1 ㎟ 당의 단위 전체 특수 입계 길이 (Lσ) 에 의해서 특수 입계 길이 비율 (Lσ/L) 을 정의한 경우에, 축선 (O) 방향의 양단부의 외주면과 중앙부의 외주면에서 측정된 상기 특수 입계 길이 비율 (Lσ/L) 의 평균값이 0.5 이상이 됨과 함께, 각각의 측정값이, 상기 특수 입계 길이 비율 (Lσ/L) 의 평균값에 대하여 ±20 ％ 의 범위 내로 되어 있고, 또한, 불순물 원소인 Si 와 C 의 함유량의 총계가 10 질량ppm 이하, O 함유량이 50 질량ppm 이하로 되어 있다. |
