Inspection method of a substrate damage yes or no plasma processing apparatus and plasma processing apparatus,申请号KR20040083839-传众专利搜索

发明名称	Inspection method of a substrate damage yes or no plasma processing apparatus and plasma processing apparatus
摘要
申请公布号	KR100752935(B1)	申请公布日期	2007.08.30
申请号	KR20040083839	申请日期	2004.10.20
申请人		发明人
分类号	H01L21/3065	主分类号	H01L21/3065
代理机构		代理人
主权项
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