METHOD AND DEVICE FOR SUPPLYING HYDROGEN-SELENIDE MIXED GAS

摘要

원료 가스 공급 유로에 설치되어 원료 가스인 셀렌화수소 가스의 유량을 제어하는 유량 제어 수단과, 교정용 유량 측정 수단에 동일 유량의 교정용 가스를 흘리고, 유량 제어 수단 및 유량 측정 수단에 의해 측정된 교정용 가스의 각각의 유량값의 차분에 따라, 유량 제어 수단이 흘리는 셀렌화수소 가스의 유량의 설정값을 보정한다.