| 摘要 |
다결정 실리콘 제조용 반응기(10)가 개시되며, 상기 반응기에는 내부에 형성된 복수의 노즐(4)을 가지는 반응기 베이스 플레이트(2)가 제공되어 있다. 실리콘 함유 가스는 노즐(4)을 통하여 흐른다. 복수 개의 필라멘트 막대(6)는 마찬가지로 반응기 베이스 플레이트(2)에 설치되어 있다. 또한, 사용된 실리콘 함유 가스를 농축 및/또는 처리 단계로 공급하기 위한 가스 출구 구멍(8)이 제공되어 있다. 가스 출구 구멍(8)은 내부 튜브(20)의 자유 단부 (21)에 형성되어 있으며 여기서 상기 내부 튜브(20)는 반응기 베이스 플레이트(2)를 관통하여 인도된다. |
