发明名称 Verfahren zur Herstellung eines Vertikaltransistors
摘要
申请公布号 DE10230715(B4) 申请公布日期 2006.12.21
申请号 DE20021030715 申请日期 2002.07.08
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 BONART, DIETRICH;VOIGT, PETER;ENDERS, GERHARD
分类号 H01L21/8242;H01L21/336;H01L27/108;H01L29/78;H01L29/786 主分类号 H01L21/8242
代理机构 代理人
主权项
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