| 发明名称 |
Micro Probe Tip Structure and Method of manufacturing the same |
| 摘要 |
마이크로 탐침 구조물 및 이의 제조방법이 개시된다. 이는 두 번의 DRIE 공정 및 RIE 공정을 이용하여 넓은 간격을 갖는 마이크로 탐침 제작이 가능하기 때문에 마스크 패턴의 간격 및 크기의 제한을 받지 않으며, 마이크로 탐침 간의 간격에 상관없이 탐침의 높이 조절이 가능함으로써, 적용하고자 하는 어플리케이션에 맞게 제작이 가능하다. |
| 申请公布号 |
KR20160116238(A) |
申请公布日期 |
2016.10.07 |
| 申请号 |
KR20150043275 |
申请日期 |
2015.03.27 |
| 申请人 |
INDUSTRY-ACADEMIC COOPERATION FOUNDATION, DANKOOK UNIVERSITY |
发明人 |
PARK, JAE HYOUNG;KIM, YONG KWEON;LEE, SEUNG KI;SHIN, YOUNG MIN |
| 分类号 |
G01N33/487;B81B1/00;B81C1/00 |
主分类号 |
G01N33/487 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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