原子层沉积设备、密封方法和用于沉积的喷嘴组

摘要

公开了一种原子层沉积设备、一种使用该原子层沉积设备密封有机发光装置的方法以及一种用于沉积的喷嘴组。在一个实施例中，该原子层沉积设备改进了吹扫气体注射喷嘴的结构，从而提高原子层沉积工艺中的吹扫气体的排出效率，这提高了吹扫工艺的速度。因此，当通过使用该原子层沉积设备来实施用于密封有机发光装置的密封工艺时，可以提高沉积速度和密封膜的质量。

主权项

一种原子层沉积设备，所述原子层沉积设备包括：反应室；基底支撑件，安装在反应室的内部以支撑基底；以及喷头，包括被构造成将第一源气体、第二源气体和吹扫气体注射到基底上的一个或多个喷嘴组，其中，喷头设置在基底支撑件的上方，其中，基底支撑件和喷头中的至少一个被安装成沿第一方向移动，所述一个或多个喷嘴组中的每个包括被构造成沉积第一源气体的第一部分喷嘴组和被构造成沉积第二源气体的第二部分喷嘴组，第一部分喷嘴组包括第一源气体注射喷嘴、吹扫气体注射喷嘴和吹扫气体排出孔，第二部分喷嘴组包括第二源气体注射喷嘴、吹扫气体注射喷嘴和吹扫气体排出孔，第一源气体注射喷嘴、第二源气体注射喷嘴、吹扫气体注射喷嘴和吹扫气体排出孔中的每个沿着与第一方向垂直的第二方向延伸，其中，吹扫气体注射喷嘴具有向吹扫气体排出孔倾斜的斜坡。