发明名称 |
Integrierter Schaltkreis mit NAND-Speicherzellen-Strängen |
摘要 |
Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung betreffen allgemein integrierte Schaltkreise und Verfahren zum Herstellen eines integrierten Schaltkreises. In einer Ausführungsform der Erfindung wird einbereitgestellt. Die Speicherzelle kann aufweisen: einen Graben in einem Träger, eine Ladungsfänger-Schicht-Struktur in dem Graben, wobei die Ladungsfänger-Schicht-Struktur mindestens zwei getrennte Ladungsfänger-Bereiche aufweist, elektrisch leitfähiges Material, das zumindest teilweise in den Graben gefüllt ist, und Source/Drain-Bereiche neben dem Graben.
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申请公布号 |
DE102007052217(A1) |
申请公布日期 |
2009.04.23 |
申请号 |
DE200710052217 |
申请日期 |
2007.10.31 |
申请人 |
QIMONDA AG;QIMONDA FLASH GMBH |
发明人 |
WILLER, JOSEF;HOFMANN, FRANZ;RICHTER, DETLEV;NAGEL, NICOLAS |
分类号 |
H01L27/115;G11C16/02;H01L21/8247;H01L25/10 |
主分类号 |
H01L27/115 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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