采用物理气相沉积法的电化学电池的大规模制造

摘要

本发明的实施方案涉及制造电化学电池的装置和方法。本发明的一个实施方案包括单个腔室，所述单个腔室设置成用于在两个卷轴之间卷绕的衬底上沉积不同的材料。在一个实施方案中，在腔室内的条件定期改变的情况下，所述衬底围绕卷轴沿相同的方向移动，从而使沉积材料随着时间连续形成。另一个实施方案采用，在腔室内的条件随着方向的每一次改变而不同的情况下，使衬底围绕卷轴移动的方向交替改变，而使沉积材料随着时间顺序形成。所述腔室配置有各种能源和材料源，从而使电化学电池的不同层沉积。

主权项

一种用于电化学电池的沉积的装置，所述装置包括：沉积腔室，所述沉积腔室与第一材料源和第二材料源流体相通；第一口，所述第一口与沉积腔室流体相通且设置成在与沉积腔室内的条件相似的气体和压力条件下保持；第二口，所述第二口与沉积腔室流体相通且设置成在与沉积腔室内的条件相似的气体和压力条件下保持；衬底，所述衬底安置在两个卷轴之间且延伸通过第一口、沉积腔室和第二口；和控制器，所述控制器配置用来使两卷轴一致旋转，从而沿通过沉积腔室的方向移动衬底，同时来自材料源的材料在衬底上沉积。