用于检测MEMS微泵的故障的方法和系统

摘要

一种用于检测微泵的包括可能的欠或过输送的故障的方法，所述微泵至少具有入口阀、具有内部压力传感器的泵浦室和出口阀，所述方法包括通过当泵不活动时至少以一定的时间间隔由所述泵浦室中的所述内部压力传感器进行的压力的测量和与参考值的比较确定泵密闭性。

主权项

一种用于检测微泵的包括可能的欠或过输送的故障的方法，所述微泵包括入口阀、出口阀、泵浦室和适于测量进入泵浦室的流体压力的第一压力传感器，所述方法包括：基于流体压力计算参考值；当微泵不活动时以一定的时间间隔通过所述第一压力传感器进行流体压力的测量；和将所述流体压力的测量与所述参考值进行比较，以确定泵密闭性或者估计泵自由流动。