氮化镓透明导电氧化膜欧姆电极的制作方法

摘要

本发明涉及一种氮化镓透明导电氧化膜欧姆电极的制作方法，是在氮化镓膜层上形成导电透明膜，再在该导电透明膜上利用离子扩散方式，以在氮化镓膜层表层上形成电气特性相反的透明导电异质接口，以及在该透明导电异质接口的表面铺设一金属厚膜，以用于后续制程打线，因此使用上述的离子扩散方式利用电子、电子空穴的穿隧效应，改善该异质接口的费米能阶位置以形成一欧姆接触电极。

主权项

1.一种氮化镓透明导电氧化膜欧姆电极的制作方法，是在氮化镓膜层(10)上形成导电透明膜(20)，其特征在于以下步骤：(a)在所述氮化镓膜层(10)表面形成一具有高功函数的所述导电透明膜(20)；(b)在所述导电透明膜(20)上利用离子扩散方式，以在所述氮化镓膜层(10)表层上形成电气特性相反的透明导电异质接口(21)；以及(c)在所述透明导电异质接口(21)的表面铺设一金属厚膜(30)，以用于后序制程打线；因此使用所述离子扩散方式利用电子、电子空穴的穿隧效应，使所述异质接口(21)形成一欧姆接触电极。