| 发明名称 |
PROZESS ZUR ENTFERNUNG VON ORGANISCHEM MATERIAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69928916(T2) |
申请公布日期 |
2006.06.14 |
| 申请号 |
DE19996028916T |
申请日期 |
1999.03.30 |
| 申请人 |
FSI INTERNATIONAL, CHASKA |
发明人 |
CARTER, E.;NELSON, L. |
| 分类号 |
H01L21/311;G03F7/42;H01L21/304;H01L21/306 |
主分类号 |
H01L21/311 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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