摘要 |
Zur Reinigung eines Fluidsensors (1), der einen Biegeschwinger (3) umfasst, wird vorgeschlagen, den Biegeschwinger (3) in Schwingungsmoden zu betreiben, die der Ausbildung von Ablagerungen auf der Oberfläche des Biegeschwingers (3) entgegenwirken.
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