一种真空镀膜设备及用于该设备的大气回转台

摘要

本发明公开了一种真空镀膜设备，包括用于对工件进行真空镀膜的真空镀膜室和大气回仓，大气回仓的入口与真空镀膜室的出口靠近，大气回仓的出口与真空镀膜室的入口靠近，还包括大气回转台，所述大气回转台靠近真空镀膜室的出口和大气回仓的入口，所述大气回转台包括旋转机构、用于将工件架从真空镀膜室运输到大气回转台上的第三移动机构和用于将工件架从大气回转台上运输到大气回仓内的第四移动机构，所述第三移动机构和第四移动机构跟随旋转机构旋转以交换位置。本发明采用大气回转台回收已镀膜的工件，占地面积小，回收节拍快，对传动精度与密封要求不高，有利于设备的维护。

主权项

1.一种真空镀膜设备，包括用于对工件进行真空镀膜的真空镀膜室、位于真空镀膜室内用于将用于承载工件的工件架运输且穿过真空镀膜室的第一移动机构、大气回仓和位于大气回仓内用于将用于承载工件的工件架运输且穿过大气回仓的第二移动机构，所述第一移动机构和第二移动机构的运行方向相反，且大气回仓的入口与真空镀膜室的出口靠近，大气回仓的出口与真空镀膜室的入口靠近，其特征在于：还包括大气回转台，所述大气回转台靠近真空镀膜室的出口和大气回仓的入口，所述大气回转台包括旋转机构、用于将工件架从真空镀膜室运输到大气回转台上的第三移动机构和用于将工件架从大气回转台上运输到大气回仓内的第四移动机构，所述第三移动机构和第四移动机构跟随旋转机构旋转以交换位置。