一种电子束连续熔炼装置及利用该装置制备硅锭的方法

摘要

本发明涉及一种电子束连续熔炼装置及利用该装置制备硅锭的方法，属于多晶硅制备领域。一种电子束连续熔炼装置，所述装置包括熔炼室，熔炼室内设有定向凝固拉锭装置、电子枪及其真空系统、无底的坩埚，所述坩埚在平行于重力的方向上分为三个部分：上水冷铜部、环形石墨部和下水冷铜部；环形石墨部的内部尺寸与位于其下方的定向凝固拉锭装置的石墨拉锭底座的尺寸相配合。本发明所述装置可提高能量利用率30％以上；可提高生产效率10％以上，减少金属杂质的二次污染，使硅锭中的铜元素含量从0.05～0.1ppmw降低至0.01～0.05ppmw。

主权项

一种电子束连续熔炼装置，其特征在于：所述装置包括熔炼室，熔炼室内设有定向凝固拉锭装置、电子枪及其真空系统、无底的坩埚；所述坩埚在平行于重力的方向上分为三个部分：上水冷铜部(4a)、环形石墨部(9)和下水冷铜部(4b)；环形石墨部(9)的内部尺寸与位于其下方的定向凝固拉锭装置的石墨拉锭底座(14)的尺寸相配合；石墨拉锭底座(14)底部连接拉锭杆(7)，拉锭杆(7)的另一端与电机相连；所述坩埚的上方设有加料装置，所述加料装置的出料口设有用于控制加料口开启的阀门；所述石墨拉锭底座(14)底部与拉锭杆(7)为螺纹连接；所述熔炼室底部设有闸板阀(12)，所述闸板阀(12)将熔炼室分隔为两个空间；闸板阀(12)下方空间熔炼室的侧壁上设有取料口(13)；闸板阀(12)的上方设有旋转架(8)，所述旋转架由两个可在水平方向进行移动的移动架构成，移动架一端连接电机及控制装置，使得两个移动架的自由端相向或相背运动。