Verfahren zum Prozessieren eines Kontaktpads

摘要

Verfahren zum Prozessieren eines Kontaktpads (301), das Verfahren aufweisend: Bereitstellen eines Kontaktpads (301), wobei eine oberste Schicht (301') des Kontaktpads (301) Aluminium oder eine Aluminiumlegierung aufweist, wobei zumindest ein Teil der obersten Schicht (301') des Kontaktpads (301) freigelegt ist; Reinigen des Kontaktpads (301) mittels einer thermisch aktivierten Atmosphäre (321), die Wasser und/oder reaktive Bestandteile von Wasser aufweist; wobei eine Pad-Oberflächenpassivierungsschicht (342) auf dem freigelegten Teil der obersten Schicht (301') des Kontaktpads (301) gebildet wird, indem das Kontaktpad (301) derselben thermisch aktivierten Atmosphäre (321) ausgesetzt wird.