一种可调反射式装置

摘要

本发明描述一种基于MEMS技术的新型结构可调反射式装置。本发明的特征为运动部件分成两部分，一部分为具有反射功用的光学部分；另一部分为在静电力作用下运动并带动光学部分，使光学部分反射面的法线发生变化的驱动部分。和现有的结构相比，这种结构中运动部件有更多的区域和基片相连，且最多只有一个和转轴相平行的自由端，机械稳定性和时间响应速度得到提高。由于驱动部分和光学部分分离，在不改变光学部分的情况下，只改变驱动部分的结构参数，驱动电压就得到改变。在本发明中，当光学部分的载体为薄膜时，利用载体和岛状反射区域的局部应力差，可以形成利于光学特性的曲面。

主权项

1.一种基于MEMS技术的可调反射式装置，其特征在于包括：一导电的基片；一导电的能在静电力作用下产生变形的驱动部分；一光学部分；在所说驱动部分、光学部分与所说基片之间的空隙层；支撑和固定所说驱动部分和所说光学部分于所说基片之上的支撑区域；所说驱动部分和所说光学部分相连，所说驱动部分在静电力作用下带动光学部分转动。