VACUUM SYSTEM COMPRISING A ROTARY PUMP WITH AN INTERMEDIATE INLET

摘要

Die Erfindung bezieht sich auf eine Vakuum-Anlage (10) mit einem ersten Behälter (12) mit einem ersten Vakuum-Arbeitsdruck und einem zweiten Behälter (14) mit einem zweiten Arbeitsdruck, der über dem ersten Arbeitsdruck liegt. Bei herkömmlichen Vakuum-Anlagen (10) werden zur Erzeugung der beiden verschiedenen Arbeitsdrücke mindestens zwei Vakuumpumpen eingesetzt. Aufgabe der Erfindung war es demgegenüber, den Aufwand zur Erzeugung der verschiedenen Arbeitsdrücke in einer Vakuum-Anlage (10) zu verringern. Die Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, dass eine Vakuum-Schraubenpumpe (16) einen Gas-Zwischeneinlass (22) aufweist, der zwischen dem Haupteinlass (20) und dem Auslass (18) einer Schraubenpumpe (16) angeordnet ist. Auf diese Weise können mit der Schraubenpumpe zwei verschiedene Arbeitsdrücke erzeugt werden.