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发明名称 Method of forming studs within an insulating layer on a semiconductor wafer
摘要
申请公布号 EP0774781(B1) 申请公布日期 2007.01.03
申请号 EP19960308103 申请日期 1996.11.08
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 GAMBINO, JEFFREY PETER;JASO, MARK ANTHONY;NESBIT, LARRY ALAN
分类号 H01L21/28;H01L21/768;H01L21/285;H01L21/304;H01L21/321 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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