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发明名称
摘要
申请公布号	JP4204841(B2)	申请公布日期	2009.01.07
申请号	JP20020297554	申请日期	2002.10.10
申请人		发明人
分类号	H01L21/02;H01L21/66	主分类号	H01L21/02
代理机构		代理人
主权项
地址

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