| 摘要 |
본 발명은 하기 일반식의 트리알킬갈륨 화합물을, 높은 수율 및 선택도로, 저렴하고 환경 친화적으로 제조하는 개선된 방법에 관한 것이다:상기 식에서, R은 1 ∼ 4 개의 탄소 원자의 알킬이다. 트리알킬갈륨은 본 발명에 따라 중간 단계 물질인 알킬갈륨 디클로라이드(RGaCl) 또는 디알킬갈륨 클로라이드/알킬갈륨 디클로라이드 혼합물(RGaCl/RGaCl)을 거쳐 제조된다. 얻어진 RGaCl또는 RGaCl/RGaCl혼합물은 또한 본 발명의 주제의 일부를 구성하고 있다. 본 발명의 신규한 방법은 개선된 공정 관리에 있어 주목할 만 하다. 본 방법은 환경 영향이 적은 저렴한 출발 물질 및 시약을 의도된 방식으로 상당히 사용하기 때문에, 공업적 규모에 있어서도 유용하다. 얻어진 트리알킬갈륨 화합물은 매우 순수하기 때문에, 반도체 및 마이크로시스템 기술에서 금속-유기 화학 증착(MOCVD) 또는 금속-유기 증기 상 에피택시(MOVPE)를 위한 유기금속 전구체로서 특히 유용하다. |
