Pellicle membrane

摘要

본 발명은 포토마스크용 펠리클 막에 대한 것으로, 펠리클 막의 재료의 굴절율 및 막 두께를 제어하여 펠리클 막 전체의 투과율을 개선하며, 특정 노광 파장에서의 투과율이 최대가 될 수 있도록 하는 기술에 관한 것이다.