| 发明名称 | 一种相对介电系数可调氮化铝涂层的制备方法 | ||
| 摘要 | 一种相对介电系数可调氮化铝涂层的制备方法，涉及铜‑碳合金表面处理。包括以下步骤：(1)在铜‑碳合金表面用脉冲直流溅射沉积Cr过渡层；(2)用中频电源共溅射双生阴极Al及BN靶，制备AlN‑BN纳米复合结构涂层；(3)交替反应溅射沉积AlN及BN单层膜，完成铜‑碳合金基体表面制备相对介电系数可调AlN涂层。制备的相对介电系数可调氮化铝涂层具有相对介电系数可调、低介电损耗、高绝缘、高导热且膜‑基结合良好等性能。 | ||
| 申请公布号 | CN105803407A | 申请公布日期 | 2016.07.27 |
| 申请号 | CN201610399691.6 | 申请日期 | 2016.06.07 |
| 申请人 | 厦门大学 | 发明人 | 王周成;吴正涛;张东方;魏斌斌 |
| 分类号 | C23C14/34(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I;C23C14/16(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/34(2006.01)I |
| 代理机构 | 厦门南强之路专利事务所(普通合伙) 35200 | 代理人 | 马应森 |
| 主权项 | 一种相对介电系数可调氮化铝涂层的制备方法，其特征在于包括以下步骤：(1)在铜‑碳合金表面用脉冲直流溅射沉积Cr过渡层；(2)用中频电源共溅射双生阴极Al及BN靶，制备AlN‑BN纳米复合结构涂层；(3)交替反应溅射沉积AlN及BN单层膜，完成铜‑碳合金基体表面制备相对介电系数可调AlN涂层。 | ||
| 地址 | 361005 福建省厦门市思明南路422号 | ||